湿式蚀刻的优缺点

低成本、高可靠性、高产能及优越的蚀刻选择比。但相对于干式蚀刻，除了无法定义较细的线宽外，湿式蚀刻仍有以下的缺点：1)需花费较高成本的反应溶液及去离子水；2)化学药品处理时人员所遭遇的安全问题；3)光阻附着性问题；4)气泡形成及化学蚀刻液无法完全与晶圆表面接触所造成的不完全及不均匀的蚀刻；5)废气及潜在的性。

湿式蚀刻过程可分为三个步骤：1)化学蚀刻液扩散至待蚀刻材料之表面；2)蚀刻液与待蚀刻材料发生化学反应；3)反应后之产物从蚀刻材料之表面扩散至溶液中，并随溶液排出(3)。三个步骤中进行慢者为速率控制步骤，也就是说该步骤的反应速率即为整个反应之速率。

大部份的蚀刻过程包含了一个或多个化学反应步骤，各种形态的反应都有可能发生，但常遇到的反应是将待蚀刻层表面先予以氧化，再将此氧化层溶解，并随溶液排出，如此反复进行以达到蚀刻的效果。如蚀刻硅、铝时即是利用此种化学反应方式。

金属蚀刻的步骤需要用到哪些物品？

金属蚀刻在技术上面还是比较好的，而且现在金属蚀刻做工还有在质量上面提高的也是比较好的，现在金属蚀刻行业扩展的也是比较好的，在数量上面增加的也是比较多的，刚开始的技术工业生产应用是在印刷丝路版，因丝路板的丝线细而密，机械加工很难完成。不同的金属材料，性质各不相同，蚀刻图型的精度不同，蚀刻深度不同，所采用的蚀刻方法、工艺以及所用蚀刻液的配方大不一样，所采用的感光抗蚀材料也各不相同。

1、化学蚀刻法—用强酸或强碱溶液直接对工件未被保护部位进行化学腐蚀，这也是目前使用较多的一种方法，优点是蚀刻深度可深可浅，蚀刻速度很快，缺点是腐蚀液对环境有很大的污染，特别是蚀刻液不易回收。并且在生产过程中对操作工人的身体健康有害。

2、电化学蚀刻—这是一种把工件做阳极，使用电解质通电，阳极溶解，从而达到蚀刻目的的方法，其优点在于环保方面，对环境污染很小，对操作工人的身体健康无害，缺点是蚀刻深度较小，大面积蚀刻时，电流分布不均匀，深度不易控制。

3、激光蚀刻法—优点是线性边沿整齐无侧蚀现象，但成本很高，约为化学蚀刻法的一倍。印刷电路板行业印刷锡膏时，所用的不锈钢丝网大多是用激光蚀刻法制作的。

高精密蚀刻工艺的起源与发展高精密蚀刻技术的起源从有记载的数据可以追溯到14世纪，在那时人们对金属高精密蚀刻还只能说是一种加工技术，还不能上升到工艺这个范畴，因为在当时及以后的几百年里，高精密蚀刻只是由加工者自己的技术水准来决定其加工质量，而不是所有人都可以学到这门技术。到了17世纪，由于硫酸、盐酸、、、苛性碱等强有力地具有高精密蚀刻作用的强酸、强碱被先后发明，才使高精密蚀刻技术有了新的发展。17世纪后期，人们已经开始使用高精密蚀刻技术进行测量工具刻度的加工，作为工具已有别于以前的艺术品的加工，它要求其产品的一致性高，这就要求高精密蚀刻技术能做到一定批量的产品在质量上的一致性，这就需要一种规范来规定每个加工工序的要求。到了20世纪，由于与金属高精密蚀刻有关的技术先后得到了解决，同时金属高精密蚀刻技术经过几百年的的艰难历程，人们也积累了足够的经验，并在这些经验之上形成了高精密蚀刻的理论。使高精密蚀刻加工从航空航天到普通民用产品都被大量采用。